ภูมิหลังของลูกค้า
บริษัทเซมิคอนดักเตอร์แบบไร้โรงงานที่จ้างการผลิตชิปโหนดขั้นสูงของตนเอง ห้องคลีนรูมที่มีอยู่ไม่สามารถตอบสนองข้อกำหนดด้านการสั่นสะเทือนและความบริสุทธิ์ของอากาศที่เข้มงวดสำหรับการพิมพ์หินด้วยแสงแบบแช่ 193 นาโนเมตรได้ ทำให้เกิดการสูญเสียผลผลิต
ความต้องการและความท้าทาย
· ISO Class 5 (Class 100) ที่พื้นผิวเวเฟอร์
· การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ: 22 ± 0.1°C ทั่วทั้งบริเวณการพิมพ์หินด้วยแสง
· ระยะเวลาหยุดทำงานสั้น: มีเวลาเพียง 1 เดือนในการปรับปรุงพื้นที่ที่มีอยู่
โซลูชัน
· การออกแบบสภาพแวดล้อมขนาดเล็ก: แยกเครื่องสเต็ปเปอร์ด้วยชุดพัดลมกรอง (FFU) พร้อมตัวกรองสารเคมีสำหรับ AMC บรรลุ ISO 4 ภายในขอบเขตเครื่องมือ
· การแยกการสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟ: บล็อกแรงเฉื่อยคอนกรีต + ตัวแยกแบบนิวแมติกเพื่อให้เป็นไปตามเกณฑ์ VC-D
· ระบบ HVAC ความแม่นยำสูง: ลูปน้ำเย็นคู่พร้อมระบบทำความร้อนใหม่ และเทอร์มินัลปริมาณอากาศแปรผัน (VAV) ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิวัดได้ที่ ±0.08°C
· แผงสำเร็จรูป: แผงสแตนเลสผลิตนอกสถานที่พร้อมข้อต่อแบบ Cam-lock ติดตั้งระหว่างการปิดปรับปรุงตามแผนเสร็จสิ้นใน 25 วัน
ความคิดเห็นของลูกค้า
“Yaning เข้าใจความต้องการของเครื่องมือของเราได้ดีกว่าผู้รับเหมาห้องคลีนรูมรายอื่น”
— ผู้จัดการฝ่ายอาคาร ลูกค้าเซมิคอนดักเตอร์
สรุป
Yaning เชี่ยวชาญด้านวิศวกรรมห้องคลีนรูม เราทุ่มเทเพื่อสร้างสภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาดซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ โซลูชันแบบโมดูลาร์ของเราเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมสำหรับโซนการผลิตที่สะอาดภายในภาคการผลิต
